設備用途:單/多晶硅片化學制絨面、去氧化屑、去重金屬離子清洗處理;適用于25MW太陽能電池生產線對單、多晶硅片擴散前的處理工序。
成熟的單晶或多晶硅片的制絨工藝,來自德國先進技術;
彩色大屏幕人機界面操作,參數設置及多任務工藝方式轉換方便;
全程自動控制、自動補液、工藝槽自動循環;充分保持液體均勻;
電腦機械手自動高效工作,伺服驅動方式和圓弧插補驅動方式;
選用國際品牌零部件,如SMC、三菱、易威奇、IGUS、西門子、松下、SEW、GF等;
采用PID控溫方式,可精確控制液體溫度±0.5℃;
全面完善的防酸防腐措施,避免機內系統被腐蝕,提高設備使用壽命;
采用德國進口PVC塑包最新技術,全面完善的防酸防腐措施,保證到機器每一個角落;
超大產能:1800片/小時[硅片尺寸4"、5"、6"]。